隨著超高速、超微旋轉機械的不斷發展,低摩擦、高效率、穩定性好的軸承成為必然之需,微型電磁軸承是其中之一。盡管科技人員對宏觀旋轉機械中的電磁軸承進行了大量的研究,但其在微機械中的應用尚處于起步階段。與宏觀電磁軸承相比,微型電磁軸承結構復雜,其磁體材料與大多數微加工技術不兼容,且對于動力MEMS來說,由于受溫度的影響,電磁軸承需增加冷卻系統以控制電磁軸承溫度,同時,由于電磁軸承的不穩定性,需要添加反饋穩定系統,這樣就會加劇整個微型旋轉機械系統的復雜性。

微型磁軸承Qin等[13, 14]探討了微型電磁軸承與宏觀電磁軸承的差別,即采用微加工技術制作微型電磁軸承的可行性問題和電磁材料的相對滲透性問題,研制了定、轉子直徑分別為2.1mm和2. 6mm,厚度為250μm的微型電磁軸承,定、轉子間的氣隙間隙為10μm,如圖2所示,報道了微型電磁軸承的相關設計、加工制造和控制問題及測試情況,并建立動力學模型來確定各種不同的控制參數。Kroki等[15]對微型電磁軸承施行單軸控制的方法,使直徑為2mm的微轉子受到磁力作用而懸浮運轉,實驗結果表明,徑向載荷為0. 16N,轉子最高速度為39 000r/min。此外,Fernandez等還設計了一種微型永磁軸承。